特點
＊測量范圍寬：1×103 ～1.6×1016Ω
＊測試夾具穩定：比電阻盒，元件測試夾具
＊測量速度高：10ms
＊按測試順序編程
＊計算電阻率
＊被測器件可接地測量
規格
測量參數：R（直流電阻），I（直流電流），ps（表面電阻率），pv（體電阻率）
數學功能：偏差和百分偏差
顯示數字：3，4或5位（可選擇）
測試電壓：0.1 ～ 1000Vdc
0.1 ～ 200Vdc時，以0.1V步進
0.1 ～ 1000Vdc時，以1V步進
電壓精度：≤200V時為0.16％+100mV
＞200V時為0.16％+500mV
*大電流：≤100V時為10mA；≤250V時為5mA
≤500V時為2mA；≤1000V時為1mA
電流相容性調定：0.5mA,1mA,2mA,5mA,10mA
輸出電阻：1KΩ±10％
輸入電阻：1KΩ±10％
測試電纜長度：2 m　（*大值）
測量范圍和精度：
直流電流：60fA～100uA 基本精度：±0.4％
直流電阻：1×103 ～1.6×1016Ω　基本精度：±0.6％
測量時間：短：10ms；中：30ms；長：390ms
修正功能：
開路誤差為0：消除由測試夾具中雜散寄生電阻引起的測量誤差
測試序列程序：控制一系列電阻測量。充電時間、測量間隔時間和測量次數可以編程。
比較功能：對測量參數設立高/符合/低界限
接觸檢查功能：
1、 可以檢測測試夾具與器件之間的接觸故障
2、 可提供的被測器件（DUT）類型
其它功能：
1、 存儲/調用：可以由內部非易失存儲對10種儀器設置進進存儲/調用
2、 連續存儲功能：若儀器被切斷或發生電源故障，儀器設置將自動被存儲起來
3、 GPIB接口：所有控制設置，被測值和比較器信息
一般指標
電源要求：90 ～ 132V或198 ～ 264V，47 ～ 66Hz，45VAmax
工作溫度：0℃ ～ 45℃
尺寸：320(寬)×100(高) ×450(長)mm
重量：6.5kg