關于吉時利（Keithley）6514型靜電計的綜合信息如下：

一、概述

吉時利6514是專為高阻抗、低電流測量設計的精密儀器，具備高靈敏度和寬測量范圍，適用于科研、半導體測試、材料分析等領域。

二、技術參數

1. 電流測量
   • 范圍：1fA（含噪聲）至20mA，靈敏度達1fA（飛安）。
2. 電壓測量
   • 范圍：10μV（數字分辨率極限）至200V，輸入阻抗高達200TΩ（太歐）。
3. 電阻測量
   • 范圍：10Ω至200GΩ（千兆歐），支持間接測量（需配合236/237/238系列探頭）。
4. 電荷測量
   • 范圍：10fC（飛庫侖）至20μC（微庫侖）。
5. 接口與精度
   • 支持IEEE-488、RS-232接口，5?位精度，采樣速度高達1200次/秒。

三、核心特點

1. 低噪聲性能
   • 電流噪聲低至1fA，確保微小信號的精準捕捉。
2. 高輸入阻抗
   • 電壓模式下輸入阻抗達200TΩ，減少測量誤差。